Nínú ayé ìṣelọ́pọ́ semiconductor tí kò wọ́pọ̀, ìwẹ̀nùmọ́ kìí ṣe ìwọ̀n dídára lásán—ó jẹ́ owó ìṣẹ̀dá gan-an. Bí ìwọ̀n àwọn ohun èlò ṣe ń dínkù sí ìsàlẹ̀ nanomita mẹ́wàá àti ìwọ̀n wafer ṣe ń pọ̀ sí i, àlà fún àṣìṣe nínú àwọn ètò ìfijiṣẹ́ gaasi súnmọ́ òdo. Láàrín àwọn gáàsì iṣẹ́, ọ̀kan dúró ní ìyàtọ̀ nínú pàtàkì rẹ̀ àti ewu rẹ̀: silane (SiH₄).
Silane ni ohun àkọ́kọ́ tó ń ṣáájú fún àwọn fíìmù tín-tín tí a fi silicon ṣe nínú àwọn ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́, àwọn ẹ̀rọ ìrántí, àti àwọn sẹ́ẹ̀lì photovoltaic. Síbẹ̀, gáàsì aláìláwọ̀ yìí ní àwọn ewu mẹ́ta tó le koko: ó jẹ́ pyrophoric (ó máa ń jó láìròtẹ́lẹ̀ nínú afẹ́fẹ́), ó léwu, ó sì máa ń ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ọrinrin. Fún irú nǹkan bẹ́ẹ̀, ìfúnpọ̀ kì í ṣe iṣẹ́ ẹ̀rọ déédéé—ó jẹ́ iṣẹ́ pàtàkì tó ń béèrè fún ìmọ̀ ẹ̀rọ tó lè dènà gbogbo nǹkan láìsí ìbàjẹ́.
NíXuzhou Huayan Gas Equipment Co., Ltd., ìrírí wa fún ọgbọ̀n ọdún nínú iṣẹ́ ṣíṣe compressor ti kọ́ wa pé nígbà tí gáàsì bá jẹ́ silane, kò sí ohun tó lè rọ́pò ìmọ̀ ẹ̀rọ compressor diaphragm.
Àwọn Ìpèníjà Àkànṣe ti Silane
Lílóye ìdí tí àwọn ìkọ́rọ̀mọ́ diaphragm kò fi ṣeé yípadà nílò kí a kọ́kọ́ mọrírì ohun tó mú kí silane gbajúmọ̀ tó bẹ́ẹ̀.
Ìwà Pyrophoric
Silane máa ń jó láìròtẹ́lẹ̀ nínú afẹ́fẹ́ ní ìwọ̀n tó ju 1.4% lọ. Èyí túmọ̀ sí wípé àwọn ìjò tí kò ṣe kedere pàápàá kìí ṣe àìṣiṣẹ́ lásán—wọ́n jẹ́ orísun iná tó ṣeéṣe kí ó wà. Níbi tí afẹ́fẹ́ bá wà, sílane tó ń jó lè jó lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, èyí tó lè fa ewu iná àti àwọn ohun tó lè fa majele.
Awọn ibeere ti o ga julọ fun mimọ
Nínú àwọn nódù semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, ìwẹ̀nùmọ́ silane gbọ́dọ̀ dé 99.9999% tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ohun ìbàjẹ́ irin, àwọn èròjà, tàbí ọrinrin ní ìwọ̀n àwọn ìpín-fún-bílíọ̀nù lè ba ìṣẹ̀dá ẹ̀rọ jẹ́. Nítorí náà, ẹ̀rọ ìfúnpọ̀ kò gbọdọ̀ kó ohunkóhun sí ìṣàn gaasi rárá.
Ìṣiṣẹ́ àti Ìbàjẹ́
Silane máa ń fi omi gbóná ṣe nǹkan láti ṣẹ̀dá àwọn ohun èlò bíi silicon oxides àti hydrogen, lábẹ́ àwọn ipò kan, ó lè bàjẹ́ di àwọn èròjà silicon amorphous tí ó máa ń dí àwọn ìlà ìfiránṣẹ́ tí ó sì máa ń ba àwọn yàrá ìṣiṣẹ́ jẹ́. Àwọn ètò ìfúnpọ̀ gbọ́dọ̀ yẹra fún àwọn ibi gbígbóná, àwọn ojú ilẹ̀ tí ó lè fa ìfàsẹ́yìn, tàbí ìfàsẹ́yìn ọrinrin tí ó lè fa irú àwọn ìṣe bẹ́ẹ̀.
Ifijiṣẹ Ipa-giga
Àwọn ohun èlò ìgbàlódé tí wọ́n ń fi semikondokito ṣe àti iṣẹ́ ẹ̀rọ photovoltaic sábà máa ń nílò kí a fi silane ránṣẹ́ ní àwọn ìfúnpá gíga láti rí i dájú pé ìwọ̀n ìṣàn omi dúró ṣinṣin sí àwọn irinṣẹ́ ìfipamọ́. Ìfúnpọ̀ yìí gbọ́dọ̀ wáyé láìsí ìbàjẹ́ ìwà mímọ́ tàbí ààbò.
Kílódé NìkanÀwọn ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ diaphragmLe Koju Ipenija naa
Nítorí àwọn ìbéèrè wọ̀nyí, àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra ìbílẹ̀ kò fi bẹ́ẹ̀ ṣiṣẹ́ dáadáa. Àwọn ìfọ́mọ́ra piston tí a fi òróró ṣe máa ń fa ìbàjẹ́ epo—kò ṣeé gbà fún àwọn iṣẹ́ tí ó wà ní ìsàlẹ̀-10nm. Kódà àwọn àpẹẹrẹ piston tí kò ní epo gbára lé àwọn èdìdì oníná tí ó máa ń ṣe àwọn ipa ọ̀nà ìfàmọ́ra kékeré nígbà tí ó bá yá, èyí tí ó máa ń ṣẹ̀dá àwọn ipa ọ̀nà jíjó fún àwọn gáàsì pyrophoric.
Ní ìyàtọ̀ sí èyí, a ṣe àwọn ẹ̀rọ ìkọ́so diaphragm pàtó fún irú ìpèníjà yìí.
Ìdènà Gáàsì Pátápátá nípasẹ̀ Apẹrẹ Hermetic
Àǹfààní pàtàkì ti ìmọ̀ ẹ̀rọ diaphragm wà nínú ìlànà ìdìpọ̀ rẹ̀. Láìdàbí àwọn ìdàpọ̀ piston tí ó gbẹ́kẹ̀lé àwọn ìdàpọ̀ oníyípadà—àwọn òrùka àti àwọn ìdìpọ̀ tí ń gbéra tí wọ́n sì ń wọ̀—àwọn ìdàpọ̀ diaphragm ń lo àwọn ìdàpọ̀ onídúróṣinṣin nìkan.
Àwòrán irin tó rọrùn, tí a fi omi rọ̀, ló máa ń ya gáàsì náà sọ́tọ̀ pátápátá kúrò nínú ẹ̀rọ ìwakọ̀. Àwòrán àti orí gáàsì nìkan ló máa ń kan gáàsì náà—àwọn méjèèjì ni a ṣe láti inú àwọn ohun èlò tí a yàn fún ìbáramu pẹ̀lú síláne. Kò sí èdìdì tó ń yọ̀, kò sí òrùka písítónì, kò sí àpò tí ó lè bàjẹ́ tí ó sì lè jò bí àkókò ti ń lọ.
Fún àwọn gáàsì pyrophoric bíi silane, ìyàsọ́tọ̀ hermetic yìí kì í ṣe ohun ìgbádùn—ó jẹ́ ohun pàtàkì fún ààbò. Ọ̀nà jíjìn èyíkéyìí lè jẹ́ kí afẹ́fẹ́ kan silane tí a ti fún pọ̀, pẹ̀lú àwọn àbájáde búburú tí ó lè ṣẹlẹ̀.
Àìsí Ẹ̀gbin Epo
Nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ semiconductor, ìbàjẹ́ epo nínú àwọn ìlà silane yóò jẹ́ àjálù. Kódà àwọn hydrocarbon tí a fi àmì ṣe lè fa àbùkù erogba sínú àwọn fíìmù tí a kó pamọ́, èyí tí yóò ba iṣẹ́ ẹ̀rọ jẹ́.
Àwọn ohun èlò ìtẹ̀sí díápírágmù ń ṣe ìdánilójú pé ìfúnpọ̀ kò ní epo 100%. Nítorí pé gáàsì náà kì í kan àwọn ẹ̀yà ara ìwakọ̀ tí a fi òróró ṣe, kò sí àǹfààní láti gbé epo lọ sínú ìṣàn iṣẹ́ náà. Àwọn ohun èlò kan ṣoṣo tí silane fi omi wẹ̀ ni àwọn irin tí a fi ìṣọ́ra wẹ̀, tí a sábà máa ń fi irin alagbara oníná mànàmáná ṣe, pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí a ṣe àtúnṣe sí ojú ilẹ̀ láti dín ìtújáde pàǹtí àti ìbáṣepọ̀ kẹ́míkà kù.
Ààbò Onígun Méjì pẹ̀lú Ṣíṣàwárí Jíjó
Ní Huayan, a gbé ààbò yìí síwájú sí i. Àwọn ẹ̀rọ ìṣàpẹẹrẹ diaphragm wa ní ìṣètò diaphragm méjì pẹ̀lú yàrá ìṣàyẹ̀wò àárín.
Láàrín diaphragm tí ń ṣiṣẹ́ àti diaphragm ààbò kejì ni àwo onígun kan wà tí a so mọ́ switch titẹ. Tí diaphragm àkọ́kọ́ bá ní ìfọ́—lẹ́yìn ẹgbẹẹgbẹ̀rún wákàtí iṣẹ́—gaasi titẹ gíga yóò wọ inú yàrá àárín yìí lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀. Switch titẹ náà yóò rí ìyípadà yìí, yóò sì fa ìkìlọ̀ tàbí ìdènà aládàáṣe kí gaasi èyíkéyìí tó lè jáde tàbí kí epo ba odò náà jẹ́.
Ètò ààbò ìkùnà yìí ń pèsè ìṣàyẹ̀wò ìwà títọ́ nígbà gbogbo, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò èéfín tí ó léwu níbi tí àwọn ìkùnà tí a kò rí kò bá ṣeé gbà.
Àwọn Ètò Pípù Gbogbo-Wíwọ́
Fún iṣẹ́ sílánè, a gbọ́dọ̀ mú gbogbo ibi tí ó lè jò kúrò. A lè ṣe àtúnṣe àwọn compressors Huayan diaphragm pẹ̀lú àwọn ètò páìpù tí a fi gbogbo ara hun, kí a sì fi àwọn ìsopọ̀ tí a fi àwọ̀ hun tí ó ń pèsè àwọn èdìdì tí ó wà títí láé, tí a lè fìdí rẹ̀ múlẹ̀ rọ́pò.
Ọ̀nà yìí bá àwọn ọ̀nà tó dára jùlọ láti lò fún mímú gáàsì pyrophoric mu, níbi tí àwọn ìlànà ti béèrè pé “gbogbo ìsopọ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ irin-sí-irin” láti rí i dájú pé ìjókòó náà jẹ́ òótọ́. Nípa yíyọ àwọn ìsopọ̀ ẹ̀rọ kúrò, a máa ń mú àwọn orísun ìjókòó ìgbà pípẹ́ tí ó wọ́pọ̀ jùlọ kúrò.
Àwọn Ohun Èlò Tí A Ṣe fún Ìbáramu Silane
Ìṣiṣẹ́ Silane nílò yíyan àwọn ohun èlò tí a fi gáàsì rì sínú àwọn compressors Huayan diaphragm ni a fi irin alagbara gíga ṣe, pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí ó lè dènà ìfàmọ́ra àti ìṣẹ̀dá pàǹtíkì.
Níbi tí àwọn ipò líle koko bá wà, a máa ń ṣe àwọn irinṣẹ́ pàtàkì àti ìtọ́jú ojú ilẹ̀ tí ó máa ń dín ìbàjẹ́ catalytic ti silane kù, tí ó sì ń dènà ìṣẹ̀dá àwọn èròjà silikoni amorphous tí ó lè dí àwọn èròjà tí ó wà ní ìsàlẹ̀.
Ìrírí Wa: Iṣẹ́ Tí A Fi Hàn Nínú Àwọn Ohun Èlò Gáàsì Pàtàkì
Láti ogójì ọdún sẹ́yìn, Xuzhou Huayan Gas Equipment Co., Ltd. ti ní ìrírí púpọ̀ nínú bíbójútó àwọn gáàsì tó ṣòro jùlọ ní àgbáyé. Àwọn ẹ̀rọ ìṣàpẹẹrẹ diaphragm wa ni a ti lò nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ semiconductor, àwọn ibi iṣẹ́ ìṣẹ̀dá photovoltaic, àti àwọn ẹ̀wọ̀n ìpèsè gáàsì pàtàkì káàkiri Éṣíà àti àwọn ibi mìíràn.
Nínú iṣẹ́ kan tí kò pẹ́, ilé iṣẹ́ semiconductor pàtàkì kan nílò omi ìfúnpọ̀ fún silane tí ó lè mú kí àwọn ìfúnpọ̀ tó tó fún àwọn ìlànà ìtúsílẹ̀ tó ti lọ síwájú nígbà tí ó ń pa mímọ́ mọ́ pátápátá. Ẹgbẹ́ onímọ̀-ẹ̀rọ wa ṣe àgbékalẹ̀ àpò ìfúnpọ̀ diaphragm àdáni tí ó ní:
- Àwọn ipa ọ̀nà gaasi tí a fi gbogbo ara ṣe láti mú àwọn ibi jíjìn kúrò
- Iṣeto diaphragm meji pẹlu ibojuwo ti nlọ lọwọ
- Àwọn ojú ilẹ̀ inú tí a fi iná mànàmáná ṣe fún ìṣẹ̀dá pàtákì tí ó kéré jùlọ
- Ìṣọ̀kan pẹ̀lú wíwá gaasi ilé-iṣẹ́ àti àwọn ètò pípa pajawiri
Eto naa ti n ṣiṣẹ nigbagbogbo fun ọpọlọpọ ọdun laisi ijamba, eyiti o fihan pe o gbẹkẹle pe imọ-ẹrọ diaphragm nikan le pese fun iru iṣẹ ti o nira bẹẹ.
Ìrírí yìí kì í ṣe ohun àrà ọ̀tọ̀. Láti lílo dichlorosilane nínú ìpamọ́ epitaxial sí fífún ammonia tó mọ́ tónítóní fún àwọn fíìmù nitride, àwọn compressors Huayan diaphragm ti fi hàn pé wọ́n níye lórí nínú àwọn lílo gaasi pàtàkì jùlọ.
Iye Owo Ti Adehun Fi Pari
Nínú iṣẹ́ síláne, yíyan ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfúnpọ̀ tí kò tọ́ ní àwọn àbájáde tó ju ìyípadà ẹ̀rọ lọ.
Èdìdì tí ó ń jò nínú ìkọ́rọ̀ písítọ̀ lè jẹ́ kí síláne sá lọ sínú àyíká. Nítorí pé síláne jẹ́ irú ìṣàn omi, irú ìṣàn omi bẹ́ẹ̀ lè jó, èyí tí ó lè fa iná, ìbàjẹ́ ohun èlò, àti àkókò ìdádúró iṣẹ́ tí a wọ̀n ní ọ̀sẹ̀ díẹ̀. Àwọn ohun tí ó lè fa ìṣàn omi síláne fa ewu sí àwọn òṣìṣẹ́, wọ́n sì nílò ìwẹ̀nùmọ́ gbígbòòrò.
Àìlera láti inú epo tàbí àwọn èròjà ìbàjẹ́ lè ba gbogbo àwọn ìdìpọ̀ wafer jẹ́, pẹ̀lú àwọn àdánù tí a wọ̀n ní mílíọ̀nù dọ́là. Nínú ilé iṣẹ́ kan níbi tí ìyọrísí iṣẹ́ ti ń pinnu èrè, irú àwọn ewu bẹ́ẹ̀ kò ṣeé gbà.
Àwọn ìtẹ̀síwájú diaphragm mú àwọn ewu wọ̀nyí kúrò nípasẹ̀ ìṣètò ìpìlẹ̀: kò sí àwọn èdìdì oníná tí yóò jò, kò sí àwọn lubricants tí yóò bàjẹ́, kò sí àwọn pàǹtí tí yóò rọ̀ sínú ìṣàn gáàsì.
Kí ló dé tí o fi yan Huayan fún àwọn àìní ìfúnpọ̀ gaasi pàtàkì rẹ
Pẹ̀lú ogójì ọdún ìrírí iṣẹ́-ọnà, Xuzhou Huayan Gas Equipment Co., Ltd. mú ìmọ̀ tí kò láfiwé wá sí ṣíṣe àwòrán àti ìkọ́lé àwọn compressors diaphragm fún àwọn ohun èlò mímọ́ gíga.
Imọ-ẹrọ Aṣa
A mọ̀ pé gbogbo ohun èlò amúṣẹ́dá semiconductor, gbogbo ìlà photovoltaic, gbogbo ohun èlò gáàsì pàtàkì ní àwọn ohun tí a nílò. Àwọn compressors wa kì í ṣe àwọn ohun èlò tí a kò fi síta—wọ́n jẹ́ àwọn ojútùú tí a ṣe tí a ṣe ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìfúnpá, ìwọ̀n ìṣàn, àti àwọn àkópọ̀ gáàsì rẹ.
Iṣẹ́-ẹ̀rọ Dídára
Láti yíyan ohun èlò sí ìpele ìkẹyìn, gbogbo compressor Huayan ń fi ìdúróṣinṣin wa hàn sí ìṣedéédé. Àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ wa ni a ṣe láti bá àwọn ìlànà pàtó ti ilé iṣẹ́ semiconductor mu, pẹ̀lú àyíká ìpele mímọ́ àti àwọn ìlànà ìdánwò líle koko.
Ọ̀pọ̀lọpọ̀ Ọdún Ìrírí
Ọgọ́rin ọdún nínú ìfúnpọ̀ gáàsì ti kọ́ wa ní àwọn ẹ̀kọ́ tí a kò lè kọ́ nínú àwọn ìwé ìkẹ́kọ̀ọ́. Ẹgbẹ́ onímọ̀-ẹ̀rọ wa ń lo ìmọ̀ tí a kó jọ yìí láti fojú sọ́nà fún àwọn ìpèníjà àti àwọn ojútùú ṣíṣe àwòrán tí ó lè mú iṣẹ́ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tí kò sì ní wahala wá lọ́dọọdún.
Iṣẹ́ Àgbáyé
Yálà ilé iṣẹ́ rẹ wà ní Shanghai, Singapore, tàbí San Jose, Huayan ń pèsè ìrànlọ́wọ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí o nílò láti jẹ́ kí iṣẹ́ rẹ máa lọ láìsí ìṣòro.
Ìparí: Kò sí àfikún fún ìmọ̀ ẹ̀rọ Diaphragm
Tí gáàsì bá jẹ́ sílánè, kò sí àyè fún àdéhùn. Àpapọ̀ ewu pyrophoric, àwọn ohun tí ó yẹ kí ó jẹ́ mímọ́ jùlọ, àti ìwà pàtàkì ti iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor nílò ìmọ̀-ẹ̀rọ ìfúnpọ̀ tí ó ń pèsè ìdènà pátápátá àti àìsí ìbàjẹ́ kankan.
Àwọn ẹ̀rọ ìṣàpẹẹrẹ diaphragm nìkan ló tẹ̀lé ìlànà yìí. Apẹrẹ wọn tó ní ìrísí, iṣẹ́ tí kò ní epo, àti àwọn ètò ìṣàyẹ̀wò tó ní ààbò ìkùnà ló jẹ́ ojútùú kan ṣoṣo tó ṣeé gbà fún silane àti àwọn gáàsì pàtàkì míràn tó ní ìmọ́tótó gíga.
Ní Xuzhou Huayan Gas Equipment Co., Ltd., a ti lo ogójì ọdún láti ṣe àṣeyọrí ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí. Àwọn olùṣe semiconductor àti àwọn olùpèsè gaasi pàtàkì kárí ayé gbẹ́kẹ̀lé àwọn compressors diaphragm wa fún àwọn ohun èlò tí ìkùnà kò bá ṣeé lò.
Kàn sí Wa Lónìí
Tí iṣẹ́ rẹ bá ní silane, dichlorosilane, ammonia, tàbí èyíkéyìí nínú àwọn gaasi pàtàkì míràn tó ní ìmọ́tótó gíga, jẹ́ kí ẹgbẹ́ onímọ̀ ẹ̀rọ wa fi ìrírí tó tó ogójì ọdún ṣiṣẹ́ fún ọ.
Email: Mail@huayanmail.com
Foonu: +8619351565170
Gbẹ́kẹ̀lé Huayan—níbi tí a ti ṣe àgbékalẹ̀ mímọ́ àti ààbò pátápátá sí gbogbo ojútùú.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-06-2026